金融界2025年8月23日消息,國家知識產(chǎn)權(quán)局信息顯示,勝高股份有限公司申請一項名為“基板搬送系統(tǒng)”的專利,公開號CN120527280A,申請日期為2025年01月。
專利摘要顯示,提供一種基板搬送系統(tǒng),其能夠減輕通過拍攝來檢測基板的搬送中的異常的有無時的數(shù)據(jù)處理的負(fù)擔(dān)?;灏崴拖到y(tǒng)具有:搬送部,搬送基板以使得依次到達(dá)A位置、B位置、C位置、所述B位置、所述A位置;A傳感器,檢測到達(dá)所述A位置的所述基板的存在;B傳感器,檢測到達(dá)所述B位置的所述基板的存在;定時部,在所述A傳感器及所述B傳感器依次檢測到所述基板的存在時測量經(jīng)過時間;以及異常檢測部,進行到達(dá)所述C位置的所述基板的拍攝并且基于由所述定時部測量的所述經(jīng)過時間和由所述拍攝得到的圖像來檢測所述基板的搬送中的異常的有無。
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